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能生产4英寸硅棒的悬浮区熔炉

  正 使区熔硅圆片的规格停留在3英寸的若干工程障碍已经被西门子突破,该公司宣称它可以供应生产4英寸硅棒的区熔炉。西门子的公务人员相信,这种新型的区熔炉将有助干使区熔硅更加吸引超大规模集成电路制造厂商的注意。 现有的区熔工艺仅限于生产棒长短、直径较小的单晶,而西门子的VZA9型新装置可处理长达1500毫米的多晶进料棒,比普通设备所处理的长度

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